GB/T 25915.12-2021 潔凈室及相關受控環(huán)境 第12部分:監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求
本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過0.1μm(100nm)的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。
本文件給出的監(jiān)測技術(shù)要求主要用于“動態(tài)”。
注1:本文件提及的“納米尺度粒子”是指所有在1維上(納米片)、2維上(納米纖維)或3維上(納米粒子)具有納米 尺度的納米物質(zhì)。
注2:請注意,潔凈室內(nèi)粒子的實際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的。
注3:本文件未考慮健康與安全事項。