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GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷
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標準類別 國家標準 發布日期 暫無
標準狀態  關于標準有效性標注的說明 實施日期 暫無
頒發部門 暫無 廢止日期 暫無
標準介紹
GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷

GB/T 15909-1995 電子工業用氣體 硅烷

本標準規定了電子工業用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求等。
本標準被  GB/T 15909-2009電子工業用氣體 硅烷(SiH)    代替

GB/T 15909-2009 電子工業用氣體 硅烷(SiH4)

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